旋片式真空泵是抽除密封容器中的气体从而获得真空的主要设备。在实际运用过程中需要正确的保养才能提高它的性能和寿命，(不适宜抽含氧过高的、有性的、对金属起腐蚀的和含有颗粒尘埃的气体)。据调查了解，有相当一部分用户，是因为使用不当，而出现了一些问题。本文针对真空镀膜设备的旋片式真空泵的常见保养提几点需要注意的事项。

　　1、经常检查油质情况，发现真空泵油乳化及变质应及时更换真空油，确保真空泵工作正常。

　　2、真空泵换真空油的期限，按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑，由用户酌情决定。一般新真空泵，抽除清洁干燥的气体时，建议在工作100小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后，以后可适当延长更换真空油期限。

　　3、严禁换用其他种类的油。一定要用专业的真空油。经常检查油位位置，不符合规定时须调整使之符合要求。以旋片真空泵运转时，油位到油标中心为准。

　　4、一般情况下，真空泵工作2000小时后应进行检修，检查橡胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个真空泵腔内的零件，如转子、旋片、弹簧等。一般用汽油清洗，并烘干。对橡胶件类配件清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放，小心碰伤。

　　5、检查真空泵管路及结合处有无松动，漏气现象。用手转动真空泵，试试是否转动灵活。

　　6、有条件的对管道中同样进行清理，确保管路畅通。

　　7、严禁长时间抽大气!严禁无油少油工作。在被抽系统与真空泵链接处应该安装真空阀，停机前应先关闭通道已防止真空由回流到被抽系统中!确保被抽系统无腐蚀性气体。

　　8、旋片式真空泵重新装配后，应进行试运行，一般须无负载，空转2小时并换油二次。由于在清洗的过程中，在旋片真空泵箱体中会残留一定量易挥发物，待挥发完以后，再投入正常工作。

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